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Vistec Semiconductor Systems have?
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Vistec Semiconductor Systems
Top ten assignees appearing on patents
Vistec Semiconductor Systems
The top ten patent families are
|
Title of patent family (most common patent title) |
Family members |
Filing year |
|---|---|---|
| device for determining the position of at least one structure on an object, use of an il… 🛈 | 6 | 2007 |
| verfahren zur bestimmung des durch die substrattopologie und eine koordinaten-messmaschi… 🛈 | 5 | 2007 |
| koordinaten-messmaschine und verfahren zur kalibrierung der koordinaten-messmaschine | 5 | 2007 |
| vorschubeinrichtung für einen mehrkoordinaten-messtisch eines koordinaten-messgeräts | 5 | 2007 |
| verfahren zur ermittlung von korrekturwerten für messwerte der position von strukturen a… 🛈 | 5 | 2007 |
| verfahren zur korrektur der aufgrund der durchbiegung eines substrats bedingten messwerte | 4 | 2007 |
| vorrichtung zur positionsmessung mindestens einer struktur auf einem substrat | 4 | 2007 |
| beleuchtungseinrichtung und inspektionseinrichtung mit beleuchtungseinrichtung | 4 | 2007 |
| verfahren zur korrektur der durch die verzeichnung eines objektivs verursachten messfehl… 🛈 | 4 | 2007 |
| verfahren zur korrektur von nichtlinearitäten der interferometer einer koordinaten-messm… 🛈 | 4 | 2007 |